按照超穩(wěn)定、超微量切除等原則，實現(xiàn)加工尺寸誤差和形狀誤差在0.01毫米以下的加工技術。
　　1.被加工材料：超精密加工的零件，其材料的化學成分、物理力學性能、加工工藝性能均有嚴格要求。例如，要求被加工材料質(zhì)地均勻、性能穩(wěn)定、無外部及內(nèi)部微觀缺陷，不能含有雜質(zhì);其物理力學性能，如拉伸強度、硬度、延伸率、彈性模量、熱導率和膨脹系數(shù)等應達到一定數(shù)量級;材料在冶煉、鑄造、輾軋、熱處理等工藝過程中，應嚴格控制熔渣過濾、輾軋方向、溫度等，使材質(zhì)純凈、晶粒大小勻稱、無方向性，能滿足物理、化學、力學等性能要求。
　　2.加工設備及其基礎元部件：對超精密加工所用的加工設備有下列要求: （1）高精度。包括高靜精度和高動精度，主要的性能指標有幾何精度、定位精度和重復定位精度、分辨率等，如主軸回轉(zhuǎn)精度、導軌運動精度、分度精度等; （2）高剛度。 包括高靜剛度和高動剛度，除本身剛度外,還應注意接觸剛度，以及由工件、機床、刀具、夾具所組成的工藝系統(tǒng)剛度; （3）高穩(wěn)定性。設備在經(jīng)運輸、存儲以后，在規(guī)定的工作環(huán)境下使用，應能長時間保持高精度、抗干擾及穩(wěn)定性。設備應具有良好的耐磨性、抗震性等;
　?。?）高自動化。為了保證加工質(zhì)量,減少人為因素影響，加工設備多采用數(shù)控系統(tǒng)實現(xiàn)自動化。
　　3.加工工具：加工工具主要是指刀具和模具。用金剛石刀具超精密切削，值得研究的問題有:金剛石刀具的超精密刃磨，其切口鈍圓半徑應達到2~4nm,同時應解決其檢測方法，刃口鈍圓半徑與切削厚度關系密切，若切削的厚度欲達到10nm,則刃口鈍圓半徑應為2nmo磨具當前主要采用金剛石微粉砂輪超精密磨削，這種砂輪有磨料粒度、粘接劑、修整等問題，通常采用粒度為W20~W0.5的微粉金剛石，粘接劑采用樹脂、銅、纖維鑄鐵等。
　　4.檢測與誤差補償：超精密加工必須具備相應的檢測方法，不僅要對工件表面質(zhì)量進行檢驗，而且要檢驗加工設備和基礎元部件的精度。其尺寸和形位精度可用電子測微儀、電感測微儀、電容測微儀、自準直儀等來測量;表面粗糙度可用電感式、壓電晶體式表面形貌儀等進行接觸測量，或用光纖法、電容法、超聲微波法和隧道顯微鏡法進行非接觸測量;表面應力、表面變質(zhì)層深度、表面微裂紋等缺陷，可用X光衍射法、激光干涉法等來測量。檢測可采取離線的、在位的和在線的三種方式。誤差預防是通過提高機床制造精度、保證加工環(huán)境等來減少誤差源對其影響;誤差補償是在誤差分離的基礎上,利用誤差補償裝置對誤差值進行靜態(tài)和動態(tài)補償，以消除誤差本身的影響。
　　標簽：精密加工